等離子體質(zhì)量和能量分析儀

Hiden EQP 等離子體質(zhì)量和能量分析儀應用：

· 刻蝕 / 沉積作用研究
· 離子植入 / 激光燒蝕
· 殘余氣體分析 / 泄漏檢測
· 等離子體電極耦合，即在操作中遵從電極設定條件
· 通過(guò)視口、接地電極和驅動(dòng)電極進(jìn)行分析

Hiden EQP 等離子體質(zhì)量和能量分析儀特點(diǎn)：

1、軟件控制的離子汲取光學(xué)系統，以使等離子體擾動(dòng)z小
2、45°靜電扇區分析器，掃描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM
3、所有能量范圍內，離子行程的z小擾動(dòng)，及恒定離子傳輸
4、帶差式泵的三級過(guò)濾四極桿，質(zhì)量數范圍至2500amu
5、高靈敏度 / 穩定的脈沖離子計數檢測器，有7個(gè)數量級的動(dòng)態(tài)范圍
6、可調諧的離子源，用于電子附著(zhù)選件的表觀(guān)電勢質(zhì)譜分析
7、Penning規和互鎖裝置可提供過(guò)壓保護
8、信號選通分辨率1μs，用于研究脈沖等離子體或能量、質(zhì)量分布隨時(shí)間的變化
9、1000eV 選配, 漂浮電壓可選至10keV, Faraday 杯用于高密度等離子體
10、Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可選,高壓操作可選
11、通過(guò)RS232、RS485或Ethernet LAN，控制軟件MASsoft。